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鄭州無塵車間建設的標準規(guī)范有哪些?

簡介—— 產(chǎn)品簡介:無塵車間是指空氣無塵度達到規(guī)定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除室外,并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布…

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  無塵車間是指空氣無塵度達到規(guī)定級別的受控空間。其功能是把空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除室外,并將室內(nèi)的無塵度、溫度、濕度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音、振動、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)。那么鄭州無塵車間建設的標準規(guī)范有哪些呢?
 
  無塵車間建設
 
  按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大小劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微,但是對于一些精密產(chǎn)品生產(chǎn),比如光學行業(yè)而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學行業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
 
  一、無塵車間的結(jié)構(gòu)組成
 
  1、無塵車間的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵車間。
 
  (1)天花板系統(tǒng):包括吊桿、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁。
 
  (2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
 
  (3)隔墻板:包括窗戶、門。
 
  (4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
 
  (5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
 
  2、無塵車間的建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
 
  A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕。
 
  B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子。
 
  C.吸濕性小。
 
  D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
 
  無塵車間建設
 
  二、無塵車間的等級
 
  1、無塵車間等級世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
 
  2、209E與209D等最大的不同在于209E表示單位增加了公制單位,無塵車間等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…。依此類推,配合國際公制單位的標準化,M字母后的阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為的,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方的間,則以1.5、2.5、3.5…表示。
 
  3、美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準的表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
 
  三、無塵車間控管的項目
 
  1、能除去空氣中飄游的微塵粒子。
 
  2、能防止微塵粒子的產(chǎn)生。
 
  3、溫度和濕度的控制。
 
  4、壓力的調(diào)節(jié)。
 
  5、有害氣體的排除。
 
  6、結(jié)構(gòu)物與隔間的氣密性。
 
  7、靜電的防制。
 
  8、電磁干擾預防。
 
  9、安全因素的考慮。
 
  10、節(jié)能的考量。
 
  無塵車間建設
 
  四、無塵車間之分類
 
  1、亂流式
 
  空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間,并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵車間等級1,000-100,000級。
 
  優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵車間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
 
  缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之無塵度,往往須耗時相當長一段時間。
 
  2、層流式
 
  層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風,此型式適用于無塵車間等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵車間等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
 
  (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴重。
 
  優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
 
  (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之無塵度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
 
  優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
 
  缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
 
  3、復合式
 
  復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超無塵之空氣。
 
  (1)無塵隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使無塵度等級提高至10級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
 
  無塵隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易。B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
 
  (2)無塵管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將無塵度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之無塵度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
 
  (3)并裝局部無塵室:將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的無塵度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用。無塵工作臺、無塵工作棚、無塵風柜即屬此類。
 
  無塵工作臺:等級Class 1~100級。
 
  無塵工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之無塵空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
 
  無塵車間建設
 
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